Obtenez une résolution subnanométrique avec un positionnement XYZ ultra-rapide

Platines de nanopositionnement piézo pour le balayage, l’alignement et la métrologie de nouvelle génération

  • Augmentez votre productivité grâce à une gamme de déplacement pouvant atteindre 300 µm et des temps de positionnement par pas successifs inférieurs à 10 ms

  • Profitez d’une précision inégalée avec une linéarité de 99,97 % et une répétabilité de 2 nm

  • Boostez l’efficacité de vos projets grâce à la livraison rapide des modèles sélectionnés

 
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Les platines piézo PIMars XYZ repoussent les limites de la précision en matière de balayage, d’alignement et de métrologie. Elles combinent une résolution subnanométrique avec une rigidité et une réponse dynamique élevées, offrant ainsi la précision et la vitesse nécessaires à la prochaine génération de recherche et de fabrication.

Aysenur Ünal, Product Manager PI, systèmes piézo et actionneurs

Les six principaux avantages des platines de nanopositionnement pour les applications de précision

  • Mouvement ultra précis — intégration facile : Résolution subnanométrique, linéarité de 99,97 % et stabilité à long terme grâce aux capteurs capacitifs. Une excellente planéité de balayage (rectitude et planéité de ±30 nm en mouvement Z) et une empreinte réduite garantissent un mouvement plan précis et une intégration facile, même dans les configurations où l’espace est limité.
  • Accès optique polyvalent : L’ouverture centrale permet des tâches d’alignement optique et la transmission du faisceau lumineux pour une utilisation flexible dans les applications photoniques et microscopiques.
  • Stabilité maximale : Les guides-flexibles sans jeu offrent un mouvement sans frottement et sans usure, avec une grande rigidité, ce qui garantit une certaine robustesse face aux chocs, aux vibrations et aux changements de température.
  • Dynamique élevée : Les actionneurs piézoélectriques avec mesure de position parallèle permettent une compensation en temps réel des mouvements parasites et une précision de suivi de l’ordre du nanomètre dans les applications à grande vitesse, contribuant ainsi à augmenter le rendement, à améliorer le contrôle qualité et à réduire les coûts dans les domaines de la recherche et de l’industrie.
  • Durabilité exceptionnelle : Les actionneurs piézo PICMA® entièrement isolés ont une durée de vie jusqu’à dix fois supérieure à celle des actionneurs conventionnels et ont prouvé leur fiabilité au-delà de 100 milliards de cycles.
  • Rapidité de livraison : Les modèles P-561, P-562 et P-563 sont disponibles pour une expédition immédiate, avec des délais d’approvisionnement exceptionnellement courts.

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  • Contrôle de la compatibilité : Vérification des exigences en matière d’espace et de plage de déplacement
  • Mesures virtuelles : Vérification préalable des caractéristiques

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Découvrez les détails techniques des nanopositionneurs piézo à trois axes

  • Tableaux des caractéristiques
  • Schémas et illustrations techniques
  • Variantes disponibles

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FAQ

Nos platines de nanopositionnement XYZ sont idéales pour les applications qui exigent une précision maximale, telles que :

  • Microscopie et sciences de la vie : Imagerie à super-résolution, confocale et AFM, Z-stacking, études sur cellules vivantes et bio-nanotechnologie. La planéité de balayage remarquable garantit des images 3D nettes.
  • Nanotechnologie : Manipulation et assemblage précis de nanostructures pour la recherche et les applications industrielles.
  • Photonique et optique : Alignement de fibres et d’éléments optiques, interférométrie et réglage optique de précision. L’ouverture centrale permet des tâches d’alignement optique ou la transmission du faisceau lumineux.
  • Semiconducteurs et métrologie : Inspection de wafers, lithographie, alignement des masques et détection des défauts, là où une précision nanométrique et une dynamique élevée sont requises.

Les platines XYZ offrent un déplacement de 45, 100, 200 ou 300 µm, couvrant le balayage, le positionnement de wafers et l’interférométrie.

Grâce à la configuration automatique, au remplacement rapide des composants et à la solution complète de PI incluant des contrôleurs piézo, des logiciels et des bibliothèques, l’intégration se fait en toute simplicité. La conception compacte facilite l’installation dans les espaces restreints.

Les capteurs capacitifs utilisés en boucle fermée surveillent en permanence la position réelle, compensant activement l’hystérésis et le fluage pour une précision subnanométrique reproductible.

Les platines de nanopositionnement sont au cœur de la recherche et de la fabrication modernes. Elles permettent d’atteindre la précision, la stabilité et la vitesse subnanométriques indispensables aux avancées dans les domaines des semi-conducteurs, de la photonique et de la bionanotechnologie.

Oui. Le design exempt de polymère et de lubrifiant garantit un faible dégazage. Elles conviennent donc idéalement pour le vide poussé et ultra-poussé jusqu’à 10⁻⁹ hPa. Les platines PIMars sont proposées avec jusqu’à six axes pour un positionnement multidimensionnel complexe, ainsi qu’en versions compatibles avec le vide et la cryogénie, avec des délais de livraison fournis sur demande.

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