- ProduitsProduitsPI est un leader mondial, fournisseur de solutions dans les domaines du mouvement et du positionnement de précision. PI développe et produit une large gamme de platines de positionnement et d'actionneurs pour des mouvements linéaires, rotatifs ou des combinaisons d'axes. PI adapte également ces solutions aux applications spécifiques de ses clients ou fournit des sous-systèmes opérationnels pour le mouvement et le positionnement de précision.
- Nouveaux produitsNouveaux produitsOn this site you will find our current new products. If you want to find out more, just contact us: Our sales engineers will get back to you as quickly as possible.
- Recherche produitRecherche produitSélectionnez le type de produit spécifié par les axes de mouvement requis. Sélectionner plus de critères étend ou réduit la liste de résultats. Sélectionnez plus de filtres par exemple pour trouver des platines de positionnement également conçues pour des capacités de charge plus élevées.
- Produits spécifiquesProduits spécifiquesPI est à l'aise là où des solutions non conventionnelles sont envisagées. Ceci ne se limite plus au domaine de la recherche. Aujourd'hui, la nanotechnologie est également présente dans des procédés très standardisés.
- Platines de nanopositionnement à structure déformablePlatines de nanopositionnement à structure déformablePI's piezo flexure stages combine sub-nanometer resolution and guiding precision with minimum crosstalk.
- Platines piézo multi-axesPlatines piézo multi-axesPI’s multi-axis piezo flexure stages allow positioning and scanning with sub-nanometer precision in up to 6 axis, including tip, tilt and yaw motion. Versions range from most compact cube design to large aperture and low profile.
- Support d'objectif PIFOC® et scanners PInano® pour la microscopieSupport d'objectif PIFOC® et scanners PInano® pour la microscopiePiezo flexure stages and objective scanners of the PIFOC® and PInano® series offer high dynamics in positioning and scanning tasks. Well adapted solutions for XY specimen positioning parallel and vertical to the optical axis and Z focusing of the objective are available as standard products.
- Platines piézo linéaires à structure déformablePlatines piézo linéaires à structure déformablePI’s nanopositioning stages and scanners combine nanometer-precision resolution and guiding precision with minimum crosstalk. This makes them particularly suitable for reference applications in metrology, for microscopic processes, for interferometry or in inspection systems for semiconductor chip production.
- Platines piézo XYPlatines piézo XYHigh-precision 2-axis nanopositioning systems integrate PICMA® piezo actuators for maximum reliability. Repeatable, drift-free positioning with optimal stability is possible by the use of high-quality nanometrology sensors.
- XYZ Piezo Flexure ScannersXYZ Piezo Flexure Scanners3-Axis Nanopositioning Scanners of Maximum Precision
- Plateformes tip/tilt piézo pour miroirsPlateformes tip/tilt piézo pour miroirsThe high stiffness of piezo flexure mirror platforms allows for high dynamics and excellent position stability. The compact devices are frequently used for beam deflection in laser processing and laser steering. Their parallel-kinematic design creates identical performance in tip and tilt axis, with a common fixed pivot point and no change of polarization direction.
- Platines piézo multi-axes
- Platines miniaturesPlatines miniaturesLes platines et manipulateurs miniaturisés sont essentiels pour les dispositifs portatifs médicaux ou de mesure, pour le micro-assemblage industriel ou une utilisation dans la recherche (ex: environnements sous vide poussé et non magnétiques).
- Platines linéaires miniaturesPlatines linéaires miniaturesDes platines miniatures sont essentielles dans les tâches de positionnement où l'espace disponible est limité. Des solutions basées sur des moteurs piézo telles que Q-motion, PIline® et PiezoWalk® permettent de proposer les platines les plus compactes en raison de leur principe d'entraînement direct.
- Platines de rotation miniaturesPlatines de rotation miniaturesLes platines de rotation avec moteur piézo permettent d'obtenir des dimensions particulièrement compactes. Ces platines de rotation compactes peuvent être utilisés dans des applications optiques pour positionner par exemple des filtres de manière fiable et avec une excellente répétabilité. Les platines de rotation peuvent être montés sur des platines linéaires sans adaptateur et permettent des combinaisons flexibles afin de créer des systèmes de positionnement multi-axes.
- Hexapodes miniaturesHexapodes miniaturesLes plus petits appareils offrant 6 degrés de liberté sont construits à partir de platines à moteurs piézo Q-motion, mais des versions avec moteurs BLDC compactes sont également disponibles. La meilleure homogénéité de performance est obtenue avec une conception d'hexapode classique. La conception avec faible épaisseur est préférée lorsque des angles d'inclinaison relativement grands sont requis.
- Platines linéaires miniatures
- Platines linéairesPlatines linéairesPI offers a wide range of motorized linear stages to supply high-precision industrial markets like semiconductor and photonics, as well as high-end research. Vacuum versions are available for a large number of different models. Multi-axis compositions can be set up with adapter brackets or specialized vertical stages and compatible rotation stages.
- Platines avec moteur linéairePlatines avec moteur linéaireStages with Magnetic Direct-Drive Linear Motor. The friction-free magnetic direct drive principle allows for most dynamic stages. Compared with motor-spindle-based stages, they use fewer mechanical components which results in less friction and backlash and thus more precision.
- Platines avec moteurs pas à pas, DC et DC brushless (BLDC)Platines avec moteurs pas à pas, DC et DC brushless (BLDC)Industrial applications in the production process such as laser processing benefit from the precise positioning accuracy of motorized positioning stages. Their low profile makes the variable stage series suitable for universal use, ranging from testing systems to production lines in precision automation.
- Platines verticales avec moteurs pas à pas, DC et DC brushless (BLDC)Platines verticales avec moteurs pas à pas, DC et DC brushless (BLDC)Vertical stages can be mounted on linear stages without adapter and allow for flexible combinations of multi-axis positioning systems.
- Platines linéaires miniaturesPlatines linéaires miniaturesMiniature stages are essential in positioning tasks where available space is limited. Piezomotor solutions like Q-motion, PIline® and PiezoWalk® allow for the most compact stages due to their direct drive principle.
- Platines avec moteur linéaire
- Actionneurs linéairesActionneurs linéairesChoisissez la solution la plus adaptée à vos besoins parmi la plus large gamme de technologies du marché: les applications set-and-forget peuvent s'appuyer sur les caractéristiques spécifiques des moteurs piézos qui fournissent une excellente stabilité à long terme, et sont adaptés pour les environnements sous vide ou magnétiques. Les solutions à moteur pas-à-pas et DC sont bien connus et fiables, à la fois pour une utilisation dans l'industrie et la recherche.
- PiezoMike pour stabilité à long termePiezoMike pour stabilité à long termeLes actionneurs linéaires PiezoMike offrent la résolution élevée d'entraînements directs piézo, des forces élevées et un positionnement absolument stable. Ils sont ainsi idéaux pour les applications set-and-forget ayant des exigences de précision élevées telles que le positionnement d'éléments optiques dans une application laser.
- Actionneurs linéaires avec moteurs pas à pas et servomoteurs DCActionneurs linéaires avec moteurs pas à pas et servomoteurs DCLes actionneurs linéaires motorisés sont indispensables dans les routines d'automatisme, de la production industrielle à l'ajustement dans les laboratoires de recherche.
- Actionneurs rapides voicecoil PIMag® avec contrôle de force intégréActionneurs rapides voicecoil PIMag® avec contrôle de force intégréLes entraînements voice coil présentent des vitesses très élevées et permettent un positionnement par pas successifs. Des guides-flexibles sans usure ou des guides mécaniques sont disponibles. Le contrôle de force optionnel permet des solutions autonomes dans des essais de dispositifs sensibles à la pression.
- Actionneurs amplifiés PiezoMoveActionneurs amplifiés PiezoMove
- Actionneurs piézo de nanopositionnementActionneurs piézo de nanopositionnementLes actionneurs PIezoMove à guide-flexible ont des courses jusqu'à 1 mm. Très compacts, ils peuvent être facilement intégrés. Générer des forces jusqu'à 10 000 N et des courses jusqu'à 100 µm sont les caractéristiques des actionneurs piézo de nanopositionnement basés sur les piézos multicouches PICMA®.
- Actionneurs forte charge et haute stabilité PiezoWalk®Actionneurs forte charge et haute stabilité PiezoWalk®Les actionneurs PiezoWalk® sont des entraînements à base piézo destinés à l'intégration. Conçus pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs, ils boostent la fiabilité, la résolution de position et la stabilité à long terme. Leurs caractéristiques incluent une taille minimale avec la production d'une force élevée. L'entraînement lui-même est résistant aux champs magnétiques.
- Cales piézoélectriques PIRestCales piézoélectriques PIRest
- PiezoMike pour stabilité à long terme
- Platines de rotationPlatines de rotationPI offers stages with all kinds of motorization and guiding options: air-bearing, torque motor driven, motorized worm-gear coupled, tiny piezomotor stages and specialized goniometer stages with orthogonal tip-tilt mounting option.
- Platines XYPlatines XYLa stabilité, la précision et la dynamique sont des éléments majeurs dans les domaines d'application des platines croisées XY de PI. Elles constituent la base d'un rendement élevé en production. PI intègre ses moteurs linéaires PIMag® et ses guidages à coussins d'air. La production industrielle et le contrôle qualité peuvent s'appuyer sur les platines fortes charges et les scanners de la gamme PI.
- HexapodesHexapodesHexapods provide six degrees of freedom in the most compact package. In combination with absolute measuring sensors, software and motion controllers that make the most complicated motion profiles easy to command, PI hexapods answer industrial requirements.
- Systèmes complexes pour automatisme de précisionSystèmes complexes pour automatisme de précisionPrecision components, stable control and a great deal of experience in engineering are essential for high-precision complex motion and positioning solutions. PI is a supplier of technologically sophisticated drive components and high-precision positioners and also offers all levels of integration for engineered subsystems.
- Alignement photonique rapide multivoieSystèmes d’alignement photoniques rapides multivoiesPiezo scanners take care of fast, continuous scanning tasks, where durability, dynamics, and precision matter. The larger travel ranges are realized with XYZ combinations or 6-axis hexapods. Integrated routines make it possible to perform single-axis alignments up to complex, multi-axis fiber array positioning within the shortest possible time.
- Logiciels dédiés au positionnementLogiciels dédiés au positionnementTous les contrôleurs numériques fabriqués par PI sont accompagnés d'un pack logiciel complet.
- ConceptsConceptsPI aspire à proposer une solution logicielle pour le positionnement offrant une architecture multi-plateforme et non matériel-dépendante.
- Programmes utilisateurs et fonctions disponiblesProgrammes utilisateurs et fonctions disponiblesChaque contrôleur PI est fourni avec un logiciel complet qui assiste l'utilisateur dans la configuration et le paramétrage de l'ensemble du système.
- Outils logiciels pour hexapodesOutils logiciels pour hexapodes
- ProgrammationProgrammationLes utilisateurs peuvent programmer ou adapter leurs propres programmes de sorte que chaque contrôleur PI peut être intégré sans difficulté dans leur application.
- Support de logiciels tiersSupport de logiciels tiers
- Produits logiciels pour applications spécifiquesProduits logiciels pour applications spécifiquesControllers and drivers from PI are supplied with an extensive software package that provides convenient solutions and interfaces for ensuring full functionality.
- Concepts
- Contrôleurs et amplificateursContrôleurs et amplificateursThe decision for a motion controller depends on the specific application situation. Various criteria, such as limited installation space, the number of axes or the type of control, determine which controller is the right one. PI offers a broad spectrum of controls and regulation concepts.
- Contrôleurs piézo de nanopositionnementContrôleurs piézo de nanopositionnementPI offers the broadest range of digital and analog piezo control concepts that are adapted for optimal result in every application. Calibration of all piezo systems is done before delivery and all systems are delivered ready for operation.
- Electronique pour actionneurs piézo en boucle ouverteElectronique pour actionneurs piézo en boucle ouvertePI’s piezo drivers are available as benchtop or rackmount solutions, and as OEM modules also with separate power supply for minimized size. Piezo drivers integrate high-performance amplifiers specialized for different fields of applications.
- Contrôleurs et électroniques pour moteurs linéaires, couples, pas à pas et servomoteurs DCContrôleurs et électroniques pour moteurs linéaires, couples, pas à pas et servomoteurs DCPI develops motion control solutions in-house to best adjust the features to the requirements of both drive and application. PI’s motion controllers are generally designed as single-channel devices and are available as benchtop, rackmount or OEM versions.
- Contrôleurs et électroniques pour moteurs piézoContrôleurs et électroniques pour moteurs piézo
- Contrôleurs pour motorisation mixte et ensemble multiaxesContrôleurs pour motorisation mixte et ensemble multiaxesModular motion controller systems provide best flexibility for increasing the number of axes in a system. They allow the use of different drive types with only one user interface. The number of available models is continuously extended. Contact PI now for your individual controller setup!
- Contrôleurs pour hexapodesContrôleurs pour hexapodesAs unique as the hexapod mechanics, the motion controller is designed to make parallel kinematics algorithms as easy and unnoticed by the user as possible: All target positions are commanded in Cartesian coordinates. For best integration in automation processes, the Hexapod motion controller is available with industrial EtherCAT interface.
- Contrôleurs piézo de nanopositionnement
- Transducteurs et actionneurs piézoélectriquesTransducteurs et actionneurs piézoélectriquesLes transducteurs ultrasons piézoélectriques sont disponibles sous différentes formes telles que des disques, des plaques ou des tubes, et différents niveaux de performance. Ils peuvent être adaptés aux exigences de l'application en utilisant différents matériaux piézoélectriques, électrodes et technologies d'assemblage.
- Disques et cylindresDisques et cylindres piézoélectriques
- Plaques et blocsPlaques et blocs piézoélectriques
- BaguesBagues piézoélectriques
- TubesTubes piézoélectriques
- Sphères et hémisphèresSphères et hémisphères piézoélectriques
- Composants bimorphesBimorphes piézoélectriques
- Tube ActuatorsPiezo Tube ActuatorsRadially and axially contracting piezo tubes are often used for creating dynamic scanning motions and as fiber stretchers.
- PICMA® Piezo Linear ActuatorsPICMA® Piezo Linear ActuatorsPICMA® multilayer actuators for an up to 10 times higher lifetime and operating time than conventional multilayer piezo actuators.
- PICMA® Piezo Bender ActuatorsPICMA® Piezo Bender ActuatorsMultilayer bending actuators: large displacement and high dynamics. Their bimorph structure ensures bidirectional displacement.
- PICA Piezoelectric Stack ActuatorsPICA Piezoelectric Stack ActuatorsStacked piezo linear actuators with operating voltages to 1000 V: High reliability, large specific displacement and high forces.
- PICA Shear ActuatorsPICA Shear ActuatorsMulti-axis and shear actuators in stacked design offer excellent dynamics combined with minimum electrical power requirements.
- DuraAct Patch TransducersDuraAct Patch TransducersDuraAct patch transducers convert electrical voltage into mechanical energy and vice versa; as actuator, sensor or as energy generator.
- Picoactuator® Piezoelectric CrystalPicoactuator® Piezoelectric CrystalThe motion of the Picoactuator® piezo crystals is highly linear and almost hysteresis-free and consequently suited for high-dynamics applications.
- Disques et cylindres
- Guidages et platines à coussin d’airGuidages et platines à coussin d’airLes platines à guidage à coussin d'air sont utilisées lorsque des mouvements sans vibrations sont nécessaires, quand la vitesse doit être très constante et quand une reproductibilité angulaire est requise.
- Capteurs, composants et accessoiresCapteurs, composants et accessoires
- VacuumProduct Series with Vacuum-Ready ItemsPI offers specific catalogue items for selected product series that are already suitable for high vacuum (HV) or ultra-high vacuum (UHV).
- Nouveaux produits
- OEMOEMLes développements de produits spécifiques aux applications de nos clients constituent une des clés de réussite de PI. À cette fin, les exigences doivent être comprises et une solution technologique doit être trouvée.
- Applications
ApplicationsLes systèmes de positionnement PI sont utilisés dans l'industrie et la recherche, là où les technologies de pointes sont mises au points. Ils trouvent leurs applications dans la fabrication de semi-conducteurs, l'ingénierie médicale, la biotechnologie, la métrologie des surfaces ou encore l'astronomie.- Des hexapodes assistent les robots industrielsDes hexapodes assistent les robots industrielsParce que le besoin en robots multi-axes et de précision dans la production et les procédés qualité ne cesse de croître, l'industrie recherche de nouveaux types de robots. PI propose des hexapodes pour ces tâches.
- Instrumentation scientifiqueInstrumentation scientifiqueThe term "scientific instrumentation" covers a variety of different applications, starting with microscopy via beamline processes through to the wide field of laboratory automation.
- Systèmes hexapodes pour ALMASystèmes hexapodes pour ALMAUnder the extreme conditions of the Atacama Desert, PI hexapods align the subreflectors to the large main reflectors of the ALMA radio telescopes.
- Monochromateur double cristalMonochromateur double cristal pour spectromètre rayons-XThe PI Beamline Instrumentation division’s aim is to develop application oriented solutions, e.g., this monochromator for an X-ray spectrometer.
- Recherche sur les matériaux sous vide secondaireRecherche sur les matériaux sous vide secondairePI provides standard and custom high vacuum compatible positioning systems for materials research with high-energy X-rays.
- Compensation active de vibrations avec actionneurs piézoCompensation active de vibrations avec actionneurs piézoActive vibration isolation reduces settling times, increases precision in measurement and production sequences and achieves high throughput rates.
- Technologie d’entraînement pour l’ELTTechnologie d’entraînement pour l’ELTThe European - Extremely Large Telescope, in short E-ELT, is the largest terrestrial telescope for scientific evaluation of electromagnetic radiation.
- Systèmes hexapodes pour ALMA
- Technologie semiconducteurTechnologie semiconducteurLes procédés lithographiques sont la raison pour laquelle les puces sont de plus en plus petites et pour laquelle des structures extrêmement fines peuvent être réalisées sur des tranches de silicium. Les entraînements piézo ont rendu ces avancées techniques possibles grâce à leur performance et leur fiabilité.
- MicroscopieMicroscopieLes procédés d'imagerie modernes améliore l'efficacité dans un grand nombre de domaines, allant de l'ingénierie médicale à la recherche pharmaceutique ou à la fabrication de semiconducteurs.
- Microscopie confocaleAjustement des plans focaux en microscopie confocaleLa microscopie confocale est utilisée par exemple en dermatologie afin de détecter la structure de la surface d'un échantillon en déplaçant le plan focal.
- Solutions de positionnement pour la microscopie de fluorescence par réflexion totale interne (TIRF)Solutions de positionnement pour la microscopie de fluorescence par réflexion totale interne (TIRF)Les platines linéaires ajustent le faisceau laser dans le microscope TIRF. Un positionnement de précision de l'échantillon est possible en combinant deux platines XY.
- Microscopie à haute vitesseMicroscopie à haute vitesse pour contrôle qualitéLe positionnement d'échantillon sur les scanners AFM est réalisé avec des platines piézo dont le rôle est clé pour la qualité des mesures.
- Microscopie à force atomiqueScanner AFM pour microscopie à force atomiqueLe positionnement d'échantillon sur les scanners AFM est réalisé avec des platines piézo dont le rôle est clé pour la qualité des mesures.
- Interférométrie à lumière blancheInspection de surface 3D avec systèmes de positionnement piézoélectriques PIPour l’inspection de surface 3D avec une résolution au picomètre, les caméras haute résolution sont combinée avec l’interférométrie à lumière blanche.
- Flamingo Lightsheet Fluorescence MicroscopyFlamingo Lightsheet Fluorescence MicroscopyLight Sheet Fluorescence Microscopy (LSFM), also called Single Plane Illumination Microscopy (SPIM ) is a very powerful microscopy technology for gentle in vivo imaging offering low phototoxicity and fast image acquisition.
- IsoView Light Sheet MicroscopeIsoView Light Sheet MicroscopeLight Sheet Microscopy is a fascinating technology with a huge application potential in life sciences and biotechnology. IsoView is a brilliant interpretation of this technology, especially intended for imaging fast cellular dynamics across large specimens over several hours. Specimen positioning and objective translation plays a major role in the design of IsoView.
- Microscopie confocale
- Photonique sur siliciumPhotonique sur siliciumLa photonique sur silicium permet des débits de données de l'ordre du Tbit/s et convient par conséquent aux services assistés par ordinateur qui requièrent les vitesses de transmission les plus élevés possibles.
- Packaging photoniquePackaging photonique automatiséUn système automatisé d'assemblage et d'alignement peut réduire la durée de fabrication de composants photoniques sur silicium à quelques minutes à peine. Toutefois, manipuler les guides d'ondes fragiles constitue un défi majeur car l'intégration des sources de lumière au niveau de la tranche et la connexion des entrées et sorties optiques sont difficiles à réaliser.
- Alignement fibre optiqueTest simultané de composants optiques en photonique sur siliciumLa photonique sur silicium présente de nouveaux défis liés à la production de composants ainsi qu'aux essais et à la découpe des wafers.
- Packaging photonique
- Technologie médicaleTechnologie médicaleProgress in pharmaceutical research, diagnostics, and therapy requires high-performance and precise position systems. In addition to high positioning precision, requirements for the drives often include compact dimensions, low energy consumption, speed, and high reliability.
- EndoscopieEndoscopes vidéo chip-on-the-tip avec motorisation miniatureTiniest piezomotors, magnetic miniature drives and miniaturized piezo tubes are used in various are used in various endoscopy procedures to generate high-resolution image information in the smallest possible installation space.
- OphtalmologieEntraînement haute précision en chirurgie ophtalmiqueThe control and focusing of laser beams in ophthalmic surgery requires accurate positioning systems, such as piezo-driven tip/tilt mirror systems.
- Imagerie par résonance magnétiqueMotorisations dédies à la tomographie par résonance magnétiquePiezo drives are well suited for magnetic resonance therapy, because they are not influenced by strong magnetic fields.
- Tomographie par cohérence optiqueTechnologie piézo et tomographie par cohérence optique (TCO)Piezo actuators and drives, e.g., PILine® OEM motors, ensure the high precision and position stability required for optical coherence tomography (OCT).
- PipetageMoteurs piézo pour instrument de dosage de précisionPiezomotors are suited for pipetting with small devices and sample separations and are able to move the pipettes in the vertical direction.
- Dosage de précisionMoteurs pour dosage de précision par nanodistributeursPiezo actuators are ideal for precision dosing with nanodispensers: They can switch valves directly, and can also work against a closing spring.
- MicropompesMicropompes piézoélectriques – Design compact et haute performancePiezoelectric micro-diaphragm pumps offer high performance on small space – the drives allow a continuous flow and a variable flow rate.
- Stabilisation d’imageStabilisation d’image et balayages avec scanners piézoFast, piezo-based scanners operate with the necessary velocities in the video frequency range for image stabilization and microscanning.
- Positionnement de diaphragme adaptatifPositionnement de diaphragme adaptatifIn radiation therapy, the individual leaves are adjusted so that the healthy tissue offers the optimum protection from the radiation.
- Solutions de positionnement pour le séquençage complet du génomeSolutions de positionnement pour le séquençage complet du génomeSpeed and precision have leaped since the beginnings of genome analysis – while, at the same time, costs have continuously decreased. „Sequencing-by-synthesis“, the currently leading method, is based on signal detection by fluorescence microscopes. Positioning solutions for microscope objectives and sample stages play a decisive role in it.
- Endoscopie
- Recherche sur les matériauxRecherche sur les matériauxEfficiency has become an important buzzword these days. Materials research has paid a major contribution as the results have, for example, optimized processing methods. Methods such as X-rays and lasers or white light interferometry demand precise positioning of the specimens to be examined and of optics or beam control.
- Cinématique parallèle pour recherche sur les matériauxCinématique parallèle avec haute capacité de charge pour la recherche sur les matériauxThe high-energy X-rays at beamlines provide numerous possibilities for materials research, such as checking welding seams of workpieces.
- Contrôle de faisceau laserEntraînements piézo pour contrôle de faisceau laserLasers are tools that can be used in many areas of application. At the same time, the laser beam control requires precision, dynamics, and reliability.
- Cinématique parallèle pour recherche sur les matériaux
- Ingénierie mécaniqueIngénierie mécaniqueMechanical engineering and manufacturing technology require fast, reliable and energy-saving drive components. The spectrum ranges from piezo actuators to six-axis parallel kinematics which can communicate directly with CNC controls.
- Usinage par électro-érosion (EDM)Les actionneurs piézo accélèrent l’usinage par électro-érosionPrecision components are manufactured using electrical discharge machining, often in large numbers. Vibrating piezo actuators make a crucial contribution here.
- Hexapodes en ingénierie mécaniqueHexapodes en ingénierie mécaniquePI hexapod 6-axis positioning systems can handle loads from 2 kg to several tons. Ideal for precision mechanical engineering applications.
- Usinage par électro-érosion (EDM)
- AutomatismeAutomatismePiezo drives, magnetic direct drives, and hexapods are part and parcel of automation today. They operate precisely and reliably and have proven themselves under rugged conditions.
- Smarter motion positioningSmarter motion positioningPositioning and motion tasks in industrial automation such as those in assembly, semiconductor manufacturing, mechanical engineering, laser material processing, inspection systems or in additive manufacturing demand solutions that need to be robust and reliable.
- Hexapodes en microproductionHexapodes en microproductionWhat do optical components and glass fibers in photonics, mobile devices, and high-quality wristwatches all have in common?
- Hexapodes pour assurance qualitéHexapodes pour assurance qualitéMicroproduction technology makes high-precision positioning systems absolutely necessary for both assembly and quality assurance.
- Entraînements directs magnétiquesEntraînements directs magnétiquesMagnetic direct drives, which include voice-coil actuators and linear drives, are often predestined here as the best solutions for many reasons.
- Simulation de mouvement avec hexapodesSimulation de mouvement avec hexapodesMotion simulation with hexapods with CIPA certificate from PI (Physik Instrumente) – vibrating tables are used for testing resistance to vibration.
- Flexibilité dans la mesure de dimensionsHexapodes pour l'automatismeHexapods allow for an outstanding flexibility for a variety of samples of in-line automation systems by minimizing the space for motion robotics.
- Compensation de mouvement avec hexapodesCompensation de mouvement avec hexapodesDynamic hexapods with piezo drives: Best conditions for motion compensation.
- Technologie avancée de moteurs rapides piézo ultrasoniquesTechnologie avancée de moteurs rapides piézo ultrasoniquesWhen increased demands are placed on an application, ultrasonic piezo motors can prove to be a good alternative, as they can be used in many ways.
- Traitement de matériau par laserTraitement de matériau par laserPI offers automation platforms for high-precision and high-throughput laser material processing, such as laser marking, laser cutting and micromachining.
- Hexapodes pour la métrologie optiqueDes hexapodes assistent la mesure précise d'optiques asphériquesTesting aspherical shape accuracy requires the measurement of the smallest deviations in the nanometer range and short measuring and set-up times. The solution is a new interferometer from metrology company Mahr. As part of the overall system, the hexapod positions lenses and the calibration sphere.
- Smarter motion positioning
- Instrumentation beamlineInstrumentation beamlineScientific experiments pose their own challenges, and beamline X-ray experiments are even more special in themselves. However, the need for precision equipment is universal.
- Equipement pour la tomographieEquipement pour la tomographie
- Spectroscopie sous vide en synchrotronSpectroscopie sous vide en synchrotron
- Préparation de faisceauPréparation de faisceau
- Positionnement d’échantillon pour la tomographiePositionnement d’échantillon pour la tomographie
- MicroscopieMicroscopie
- Technologie pour accélérateurs de particulesTechnologie pour accélérateurs de particulesDynamic compensation of Lorentz forces at the XFEL accelerator structures: The particle accelerator XFEL at the DESY (German Electron Synchrotron) uses acceleration technology based on super-conducting acceleration structures, so-called resonators or cavities.
- Equipement pour la tomographie
- Fabrication additiveFabrication additiveDue to their high dynamics and pushing forces piezo actuators are highly suitable for the use in machines for additive manufacturing.
- Alignement actif rapideAlignement actif rapideThe assembly of complex optical systems like objective lenses for smartphone cameras or laser cavities requires more and more accuracy. Active alignment addresses the resulting needs and helps to reduce cycle times by two orders of magnitude and more.
- Technologie
TechnologiePI associe une longue expérience dans les technologies de micro et nanopositionnement et des connaissances approfondies dans les domaines de la mécanique, de l'électronique, de l'ingénierie des capteurs et des logiciels. Ainsi, PI est en mesure d'offrir à ses utilisateurs les technologies d'entraînement et les systèmes les plus avancés.- Technologie piézoTechnologie piézoPI Ceramic propose une riche expérience dans la fabrication de matériaux, composants et actionneurs piézocéramiques. Les matériaux piézocéramiques peuvent être adaptés individuellement pour correspondre à la perfection aux derniers usages des composants piézo.
- Principes fondamentaux de la technologie piézoPrincipes fondamentaux de la technologie piézoBases physiques et explications de la piézoélectricité et de l'électromécanique.
- Propriétés des actionneurs piézoPropriétés des actionneurs piézoCaractéristiques des actionneurs piézocéramiques : modes de déplacement, forces et raideurs, dynamique. Conditions ambiantes.
- Matériaux piézoélectriquesMatériaux piézoélectriquesPI Ceramic propose une variété de matériaux piézoélectriques différents y compris des matériaux sans plomb.
- Technologie de fabricationTechnologie de fabricationPI Ceramic propose une vaste gamme de technologies de fabrication : pressage, bande, assemblage et procédures d'essai.
- Technologie PICMA®Technologie PICMA®Fiabilité et durée de vie étendues grâce au procédé de fabrication breveté pour les actionneurs multicouches.
- Actionneurs piézo intégrésActionneurs piézo intégrésPour éviter les forces de traction, ces éléments piézoélectriques sont munis d'une précontrainte dans des boîtiers mécaniques ou au moyen de joints de flexion.
- Technologie de patch transducteur DuraActTechnologie de patch transducteur DuraActLa fabrication, le principe de fonctionnement et les paramètres de fonctionnement habituels des patches transducteurs DuraAct expliquent la production de force et le déplacement possibles.
- Actionneurs PIRestActionneurs PIRestCales actives avec stabilité long terme et résolution au nanomètre.
- Principes fondamentaux de la technologie piézo
- Moteurs piézoélectriquesMoteurs piézoélectriquesDepending on the configuration and control, piezoceramic actuators can be used to create translational motions or as motors with a virtually unlimited travel range. The choice of drive depends on the requirements of the application.
- Actionneurs piézoActionneurs piézo avec et sans guidagePiezoelectric actuators offer subnanometer resolution and very short response times, making them ideally suitable for nanometer-precision positioning at high dynamics.
- Moteurs PiezoWalk®Moteurs PiezoWalk®PiezoWalk® drives were developed more than 10 years ago for the semiconductor industry, a demanding industry when it comes to reliability, position resolution and long-term stability.
- Moteurs piézo ultrasoniques PILine®Moteurs piézo ultrasoniques PILine®Ultrasonic piezomotors dispense with the mechanical complexity of classical rotary motor/gear/leadscrew combinations in favor of costs and reliability.
- Moteurs piézo inertielsMoteurs piézo inertielsInertia Drives are space-saving and low-cost piezo-based drives with relatively high holding forces and a travel range that is only limited by the length of the runner.
- Actionneurs linéaires PiezoMikeActionneurs linéaires PiezoMikeCompact, low-cost inertia drive principle (stick-slip). When at rest, the drive is self-locking, requires no current and generates no heat. It holds the position with maximum force.
- Comparaison : Technologies de moteurs et entraînements piézoComparaison : Technologies de moteurs et entraînements piézoPIs drive technologies in comparison: Piezo motors, stepping drives, ultrasonic drives, and piezo inertia drives.
- Actionneurs piézo
- Entraînements électromagnétiquesEntraînements électromagnétiquesLes moteurs électriques rotatifs tels que les moteur DC ou moteurs pas à pas sont utilisés en liaison avec des entraînements à vis. Les systèmes de moteur pas à pas avec encodeurs haute résolution peuvent réaliser des mouvements avec une résolution opérationnelle de 10 nm et une fiabilité et une reproductibilité élevées.
- Moteurs électriques rotatifsMoteurs électriques rotatifs PILes moteurs électriques rotatifs tels que les moteur DC ou moteurs pas à pas sont utilisés en liaison avec des entraînements à vis.
- Entraînements directs magnétiquesEntraînements directs magnétiquesLes entraînements directs magnétiques présentent des avantages par rapport aux technologies classiques basées sur des vis précontraintes ou à billes, notamment en termes d'usure et de dynamique.
- Lévitation magnétique PIMag®Lévitation magnétique PIMag® à six degrés de libertéPIMag® 6-D est un système de positionnement électromagnétique dans lequel la plateforme passive lévite sur un champ magnétique et est guidée activement par celui-ci.
- Concept hybrideConcept hybride piézo et moteurDans le concept hybride, le servomoteur DC (grandes gammes de déplacement) et l'entraînement piézo (précision au nanomètre) sont combinés l'un avec l'autre.
- Moteurs électriques rotatifs
- Cinématique parallèleCinématique parallèleIn a parallel-kinematic, multi-axis system, all actuators act directly on a single moving platform. This means that all axes can be designed with identical dynamic properties, thus reducing the moved mass considerably. Hexapods are used for moving and precision positioning, aligning and displacing loads in all six degrees of freedom, i.e., three linear and three rotational axes.
- Cinématique parallèleSystèmes de positionnement piézo avec cinématique parallèleIn a parallel-kinematic, multi-axis system, all actuators act directly on a single moving platform.
- Positionneurs multi-axesPositionneurs multi-axes et plateformes de StewartHexapod platforms are used for precision positioning and alignment of loads in all six degrees of freedom, three linear axes, and three rotational axes.
- Hexapodes dédiés à la simulation de mouvementHexapodes dédiés à la simulation de mouvementMotion simulators have higher motion dynamics requirements (shakers).
- Cinématique parallèle
- Technologies de capteursTechnologies de capteursLa linéarité et la reproductibilité obtenues sont impossibles sans les dispositifs de mesure offrant une résolution maximale. La précision de l'ordre de quelques nanomètres et en dessous nécessite une méthode de mesure de position pouvant également détecter les mouvements du même ordre de grandeur.
- Capteurs capacitifsCapteurs capacitifsLes capteurs capacitifs sont le système de métrologie de choix pour les applications de nanopositionnement les plus exigeantes.
- Capteurs incrémentauxCodeurs linéaires pour nanométrologie et nanopositionnementPI utilise des systèmes de mesure incrémentaux pour des gammes de déplacements plus longues, à partir d'un millimètre approximativement. Ces capteurs qui, dans la plupart des cas sont des capteurs optiques, offrent une résolution de position de l'ordre du picomètre.
- Codeur linéaire optique PIOne pour la nanométrologieCodeur linéaire optique PIOne pour la nanométrologieLe capteur linéaire haute résolution PIOne développé par PI garantit une résolution meilleure que le nanomètre avec une analyse de mesure adéquate.
- Comparaison : Technologies de capteurs de positionnementComparaison : Technologies de capteurs de nanopositionnementLes systèmes de positionnement qui doivent fournir une précision de l'ordre de quelques nanomètres et en-dessous nécessitent une technique de mesure de position pouvant également détecter les mouvements du même ordre de grandeur.
- Capteurs capacitifs
- Contrôleurs et logicielsContrôleurs et logicielsFast settling or extremely smooth low speed motion, high positional stability, high resolution and high dynamics – the requirements placed on piezo systems vary greatly and need drivers and controllers with a high degree of flexibility.
- Interfaces numériques et analogiquesInterfaces numériques et analogiquesFast USB or TCP/IP interfaces as well as RS-232 are the standard interfaces supported by modern digital controllers from PI. Furthermore, PI also provides digital or analog real-time capable interfaces.
- Connectivité EtherCAT des produits PIConnectivité EtherCAT des produits PIPI offers high-precision drives for use as EtherCAT slave, or integrates with ACS Motion Controllers as Master, or 2nd Master in an existing architecture.
- Contrôle pour actionneurs piézoContrôleurs et amplificateurs piézo pour systèmes de nanopositionnementCharacteristic properties of piezo actuators include high feed forces and fast response. Since piezoelectric actuators react to even the smallest change in voltage with a motion, noise or drift in the control must be avoided.
- Contrôleurs numériquesContrôleurs numériquesDigital technology opens up possibilities for improving performance in control engineering which do not exist with conventional analog technology.
- SoftwareMotion Control Software from PIAll positioning systems from Physik Instrumente (PI) and piezo and motion controllers and drivers are supported by a solid software package.
- Alignement actifAlignement actifThe need to align devices down to nanoscale accuracy is arising in many fields. Optical components such as the lenses or lens assemblies in small cameras, or even the CCD chip itself, need to be positioned with ever more precision.
- Interfaces numériques et analogiques
- Systèmes de guidage et transmission de forceSystèmes de guidage et transmission de forceFlexure joints, mechanical guide components or magnetic bearings? Which kind of guiding system PI uses in its products depends on parameters such as travel range, required precision, load, lifetime, and ambient conditions.
- Systèmes de guidage classiquesComparaison : Systèmes de guidage classiques et transmission de forcePositioners with travel ranges from several millimeters to one meter usually utilize traditional mechanical guide components such as ball bearings.
- Systèmes à structure déformableSystèmes avec guides-flexibles pour nanopositionnement et actionneurs piézoFlexure guides from PI have proven their worth in nanopositioning. They guide the piezo actuator and ensure a straight motion without tilting or lateral offset.
- Entraînements magnétiquesLévitation magnétique et entraînement de précision pour le nanopositionnementMagnetic levitation allows excellent guiding accuracy in a plane, both linear and rotational.
- Technologie de guidage à coussin d’air PIglideTechnologie de guidage à coussin d’air PIglideMulti-axis motion with nanometer precision and without friction.
- Systèmes de guidage classiques
- VidePlatines de translation et de rotation compatibles vide, positionneurs UHVManipulation précautionneuse, locaux adéquats : PI dispose non seulement de l'équipement nécessaire pour la qualification de matériaux, de composants et de produits finis mais s'appuie aussi sur de nombreuses années d'expérience en matière de systèmes de positionnement sous vide et ultra vide.
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- À propos de PI
À propos de PIPI est synonyme d'excellence technique et de progrès continu en matière de positionnement de précision, grâce à la passion de la technologie et ses applications. L'objectif du groupe PI est de développer sa position de leader technologique sur le marché et d'assurer ainsi à ses clients un avantage compétitif décisif.- Centre de technologieCentre de technologieLe centre de technologie fournit de l'espace pour les bureaux ainsi que pour les laboratoires d'application, les laboratoires de métrologie et les salles propres accueillant les chambres à vide et enceintes cryogéniques.
- Organisation de production en fractalesOrganisation de production en fractales chez PIPI manufactures in autonomous organization fractals. Each unit is responsible for its own product line, has all the necessary skills and production equipment.
- MétrologieMétrologiePI qualifies its products with external measuring equipment. These are calibrated in part and traceable to a national standard. Using the PIOne incremental encoder and capacitive sensors, PI manufactures own metrology for inclusion in PI products.
- Production en salles propres chez PIProduction en salles propres chez PIPI a la capacité de fabriquer et qualifier des produits dans des conditions de salle propre. Ces conditions sont adaptées et améliorées en fonction des besoins du marché.
- Salle pour charges lourdesSalle dédiée à la qualification des systèmes de positionnement pour fortes charges jusqu'à 7 tonnesThe product range from a two-ton hexapod to a ten-gram nanopositioner requires that PI can both manufacture and qualify these systems. For this reason, PI operates a heavy duty hall at its location in Karlsruhe for the assembly and measurement of masses up to five tons.
- Qualité certifiéeQualité certifiéePI aims to apply the same high quality, safety and environmental protection standards worldwide. The Integrated Management System reflects this commitment.
- Le groupe PILe groupe PIPI est synonyme d'excellence technique et de progrès continu dans le domaine du positionnement de précision – mu par la passion de la technologie et son utilisation au sein des applications de ses clients.
- A propos de PI miCosPI miCos GmbH, AllemagneEn tant que membre du Groupe PI, PI miCos apporte une forte contribution à la réalisation des systèmes complexes et est le centre d'expertise pour les systèmes de positionnement dotés d'entraînements magnétiques.
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Providing precision positioning equipment for a vacuum environment follows clearly defined conditions. First, contamination of the vacuum chamber with particles through abrasion or outgassing but also through excessive heat input must be avoided. In addition, the installation space is usually limited. PI has many years of experience in vacuum technology and applications as well as a high vertical range of manufacturing. Therefore, PI is able to offer standard and customized products that are precisely tailored to the requirements of the vacuum application, e.g. by appropriate drive components, material selection, design, and accessories as well as suitable manufacturing processes and quality control.
Standard products to 10-9 hPa, customized solutions to 10-12 hPaPosition resolution to less than 1 nm with piezo direct drives, less than 1 μm with motorized stagesTravel range of a few 10 μm up to 100 mm, optionally even moreLoad capacity up to several 100 kgOperation in magnetic fields and EUVPositioning Solutions for Vacuum Environments
PI offers various motion technologies that are suitable for vacuum applications: This includes piezo actuators, which can also work in strong magnetic fields and cryogenic environment, piezo systems with travel ranges of less than 1.5 mm and subnanometer precision, piezo motors in different designs with respect to force, dynamics, and travel range, motorized positioners with specially designed DC or stepper motors that allow larger travel ranges as well as parallel kinematic hexapods for positioning in six degrees of freedom.
PI offers a wide range of products that have been developed on the basis of >> piezo actuators. Piezo actuators do not require lubricants or cause abrasion. Their motion is based on the >> piezo effect, and is therefore wear free. As the piezo effect is based on electric fields, piezo actuators neither generate nor are they affected by magnetic fields. The piezo effect exists even at lowest temperatures close to 0 Kelvin. In addition, piezo ceramics are insensitive to high-energy radiation. The >> PICMA® all-ceramic isolated actuators do not require polymer insulation and provide the optimum conditions for use in ultrahigh vacuum: no outgassing and high bakeout temperatures of up to 150 °C.
The high stiffness of piezo actuators enables high force generation and dynamics. Their rapid response time in the microsecond range is a result of their high resonant frequency of several hundred kilohertz. The travel ranges of piezo actuators are typically in between a few 10 to a few 100 μm for linear actuators. Bending actuators can achieve a few millimeters. Piezo actuators reach subnanometer resolution.
Depending on the configuration and control, piezoceramic actuators can be used for translational, rational motion (tip/tilt), or as motors. The choice of the drive principle depends on the required travel ranges, forces, resolution, and velocities of the respective application. Next to the drive type, the selection of suitable materials and additional components is decisive for the use of piezo-based positioning systems in a vacuum. For this reason, vacuum-suitable housings, position sensors, and guide systems such as >> capacitive sensors or >> flexure guides are selected. In addition, piezo motors also do not require lubricants or greases for operation.
Regardless of the drive principle, all >> piezomotors can be used in a vacuum and are the drive of choice, especially when travel ranges in the millimeter range are required.
PI offers specific vacuum-ready standard products for selected product series that are already suitable for high vacuum (HV) or ultrahigh vacuum (UHV). Furthermore, most PI products can be modified on request for use in a vacuum. The products provided by PI achieve atmospheric pressure down to 10-9 hPa. In some cases, 10-10 hPa can be reached.
Table 1 shows the different measures taken to achieve the corresponding vacuum class.Vacuum class Motor Measuring system Material Cable and connectors Guides and spindles Venting Bakeout temperature to 10-6 hPa Greased motor Standard measuring system Anodized aluminum components; brass allowed; plastics allowed 2 m PTFE cable with standard connector Guides and spindles with vacuum grease Partly with cannulated screws Bakeout temperature max. 80°C to 10-7 hPa HV Motor HV measuring system Aluminum, blank; brass allowed; selected plastics 2 m PI or PTFE cable with UHV connector Guide and spindle made of stainless steel with vacuum grease Cannulated screws Bakeout temperature max. 80°C to 10-9 hPa Special UHV motor with temperature sensor UHV measuring system Aluminum, blank; brass not allowed; no plastic except PEEK or polyimide 2 m PI cable with UHV connector Guide and spindle made of stainless steel with vacuum grease Cannulated screws Bakeout temperature max. 120°C with/ 150°C without measuring system Tab. 1: Different measures taken to achieve the corresponding vacuum class of motorized positioners.
White paper
Positioning in High Vacuum (HV) and Ultrahigh Vacuum (UHV)
How Motorized Positioners Meet Requirements of Vacuum ApplicationsHexapod platforms are used for precision positioning and alignment of loads in all six degrees of freedom, which means three linear axes, and three rotational axes. Hexapods have a >> parallel-kinematic structure, i.e., the motion platform is actuated simultaneously by multiple actuators. In a parallel-kinematic hexapod all drives act on a single motion platform, which results in a much more compact design than possible with stacked systems. Hexapods feature a high stiffness; therefore, they can be mounted in any orientation. As only one platform is moved, the overall moved mass is lower if compared with a stacked or nested positioning system, resulting in lower inertia, and therefore higher dynamics, which is the same for all motion axes.
Depending on their design, hexapods can position loads from several kg up to several tons in any spatial orientation, independently of the mounting orientation and with submicrometer precision. Designed properly, hexapods are suitable for use in vacuum and can be adapted to different vacuum classes using electric motors or piezoelectric drives and vacuum-suitable sensor technology.
To determine the required vacuum class, it is necessary to know the application as well as possible. For example, EUV lithography, the production of microelectronic circuits, or material analysis using SEM (scanning electron microscopy) place different demands on the pressure range, but also on the permissible residual materials in the vacuum chamber. Therefore, the outgassing rate is another relevant specification. Often the partial pressure of HCs (hydrocarbons) is decisive. Because it determines the pressure in the system (together with the capacity of the vacuum pump), outgassing prohibits fast achievement of low pressure values. In addition, the outgassing compounds may deposit on surfaces of optical elements or other sensitive devices and can obscure or damage them. Therefore, the residual gas must contain very little or no HCs and no metals with high vapor pressure such as zinc, lead, or cadmium.
Vacuum is the state of a gas, when in the pressure of the gas in a container and thus the particle count density is lower than outside or if the pressure of the gas is lower than 300 mbar, i.e. smaller than the lowest one on the atmospheric pressure on the Earth's surface {DIN 28400}. It is measured in either [hPa], [mbar] or [Torr]. Different levels of vacuum classes are defined: rough, fine, high, ultrahigh, and extremely-high (shown in Tab. 2). PI offers standard products for selected product series that are already suitable for HV or UHV conditions. Furthermore, most PI products can be modified on request for use in a vacuum. The products provided by PI achieve a pressure down to 10-9 hPa. In some cases, 10-12 hPa can be reached.
Vacuum class Abbr. hPa mbar Torr Rough vacuum RV 300 to 1 300 to 1 225 to 0.75 Fine vacuum FV <1 to 10-3 <1 to 10-3 <0.75 to 7.5 × 10-4 High vacuum HV <10-3 to 10-7 <10-3 to 10-7 <7.5 × 10-4 to 7.5 × 10-8 Ultrahigh vacuum UHV <10-7 to 10-12 <10-7 to 10-12 <7.5 × 10-8 to 7.5 × 10-13 Extremly-high vacuum XHV <10-12 <10-12 <7.5 × 10-13 Tab. 2: Definition of vacuum classes
How to Overcome Challenges of Vacuum Applications
Because outgassing is a challenge for creating and maintaining clean high-vacuum environments, the right choice of materials and treatments is compulsory in the design and production of vacuum systems. To manufacture products for high (HV) or ultrahigh (UHV) vacuum the following has to be considered: material selection, design, manufacturing and commissioning processes.
The material may not outgas and must be resistant to heat in order to overcome the bakeout temperatures necessary for higher vacuum classes. However, the required precision and high position resolution as well as flatness must be maintained.
For example, common electrical and electronic equipment contains components that either do not suit vacuum applications or only to limited extent. These comprise cables, motors, scaling systems, connectors or limit switches. PI implements specific product features for all these components to strongly reduce outgassing from these components and creating a clean vacuum environment.Therefore, the materials used for vacuum positioning systems are aluminum alloys, stainless steels, titanium, or bronze. Surface treatment is adapted to the vacuum class, for example, the surfaces of the higher vacuum classes are not coated but blanc aluminum or electro polish. For use in HV and UHV, special vacuum lubricants are used. On request, the lubricant may be defined when placing the order. Vacuum cable insulation is made of PTFE or FEP (Teflon), and also of polyimide (Kapton) or PEEK. The use of adhesives is reduced as far as possible.
Substituting standard materials with vacuum-suitable materials, is a strict requirement of vacuum stage design. Another requirement is the reduction and minimization of the surface of the system.
In addition, it is important to avoid air inclusions since these act like virtual leaks in a vacuum.
The gas in this trapped volume cannot be pumped out easily due to only narrow paths connecting to the vacuum chamber. This delays reaching the required vacuum level.
Trapped volumes are usually caused by unvented or poorly vented blind tapped holes. These are either at the tip of a screw or under the rim of the screw head. Furthermore, holes that are covered either when mounting the positioner on a base plate or fixing a sample on the positioner, often cause virtual leaks. When virtual leaks are caused by screws, the use of vented screws, for example, is recommended.The conditions and handling regulations for vacuum positioning systems are just as important as the design principles. Vacuum stages are mounted under cleanroom conditions. All components are cleaned in an ultrasonic bath. They are shipped in a packaging free from particles. Before a vacuum positioner is assembled, all pure metal parts undergo a cleaning process in an ultrasonic bath. Electrical and electronic units are wipe-cleaned. Standard, lubricated components such as bearings and guides are degreased, cleaned, and lubricated with special vacuum grease. Ultrasonic-cleaned components are dried in a climate chamber.
The assembly of a stage is carried out in a >> cleanroom or in a flow box. After assembling, the stage must pass a performance test in a clean environment. Vacuum tests are performed for each type of stage and when vacuum-critical changes are made to the product. After assembling, the system is packed in vacuum-sealed bags protected against dirt, air, and humidity: First, the stage undergoes a baking process in a climate chamber. After packing and sealing in an inner vacuum bag, the stage is then put into a second, outer vacuum bag that is then vacuum sealed completely.
Vacuum-suitable products undergo standard testing at PI. Additionally, customized tests can be ordered for individual vacuum applications. PI has several vacuum chambers with different volumes for bakeout and residual gas analysis.
For testing single components or for testing small stages, a chamber is available with a volume of approximately 10 l. The small vacuum chamber is equipped with a pump stand consisting of a 400 l/s (N2) turbomolecular pump and a pressure sensor for continuous pressure sensing, which means that pressures below 10-10 hPa can be reached. A heating facility allows bakeout temperatures up to 200 °C.A large chamber with a volume of 260 l is designed for large stages up to a length of 800 mm, hexapods, and for multi-axis systems. A pump stand with a 700 l/s (N2) turbomolecular pump and a pressure sensor allow testing down to 10-9 hPa. Bakeout temperatures up to 150 °C are possible with the integrated heating system.
For in-vacuum operation tests on stages flanges of different sizes are available for motor current, linear encoder, limit switches, temperature sensors etc. with various feedthroughs. If interferometric measurements are required or a visual observation of processes is necessary, both chambers can be equipped with inspection windows. A quadrupole mass spectrometer is available for real-time RGA (residual gas analysis) between 1 amu to 200 amu, which can be attached to both chambers.
PI classifies and verifies the vacuum products by vacuum pressure measurements and RGA (residual gas analysis) in the vacuum chambers. Depending on which vacuum level needs to be reached, the chambers and stages are baked out accordingly.
Vacuum Applications
Vacuum applications are becoming increasingly important due to new technologies whose operating principle depends on vacuum environment.
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