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| Test et Calibrage
- Pourquoi les Equipements de
Nanométrologie de
Haute-Qualité sont Importants? |
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Les systèmes piézos de nanopositionnement
sont des investissements importants et PI croit en
l'optimisation des performances de chaque système client. PI effectue
le calibrage de chaque platine
individuellement et optimise les performances dynamiques pour
l'application du client. De plus, PI effectue en permanence des investissements
considérables dans des équipements de
nanométrologie de performances supérieures et de qualité
améliorée de façon à pouvoir fournir une valeur supérieure à ses clients.
Comme un nanomécanisme peut être seulement aussi précis
que l'équipement avec lequel il a été accordé et testé, les
platines en boucle fermée de PI sont
calibrées exclusivement avec les prestigieux
interféromètres Zygo ZMI-2000 et
ZMI-1000. Les laboratoires de calibrage de nanométrologie de PI
sont isolés séismiquement, électromagnétiquement et thermiquement,
avec des températures régulées à mieux que 0,25 C° /
24hr. PI est persuadé que ses équipements et
procédures de calibrage sont les références de l'industrie.
En plus, toujours dans la philosophie de PI d'une amélioration
permanente, la traçabilité formelle au NIST
est programmée pour la fin de 2006. |
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Tous les systèmes de
nanopositionnement de PI sont fournis accompagnés d'une
documentation approfondie de calibrage.
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Les interféromètres prestigieux de Zygo ZMI-2000 et
ZMI-1000 sont utilisés dans les laboratoires de calibrage de
nanométrologie de PI. Chaque platine est calibrée
individuellement et optimisée pour une réponse dynamique.
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Laboratoire de métrologie de pointe à double enceinte, avec des isolations
multiples thermique, accoustique et séismique pour des mesures
significatives subnanométriques.
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Mesures de répétabilité de
positionnement entièrement randomisées d'une platine PIHera™
de 100 µm, équipée d'une métrologie directe, réalisée avec l'interféromètre Zygo. Les données
montrent la précision exceptionnelle de ces dispositifs de nanopositionnement intermédiaire. |
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