Métrologie  Directe  et  Indirecte 
Des capteurs sans contact sont utilisés pour obtenir les valeurs de position les plus précises possibles pour les systèmes à servocommande de position. Des capteurs capacitifs à deux plaques installés directement sur la plate-forme mobile et mesurant dans l'axe du mouvement, offrent les meilleures performances. La résolution et la répétabilité peuvent atteindre  0,1 nanomètre   avec de tels systèmes. La métrologie indirecte —mesurant la déformation à un certain point du système d'entraînement  — ne peut être utilisée dans les systèmes exigeant une précision très élevées.

Cinématique  Parallèle  et Séquentielle
Il existe deux  façons  basiques pour concevoir des systèmes de positionnement  multi-axe: Cinématique séquentielle et cinématique  parallèle. Les cinématiques séquentielles sont plus simples à concevoir et à fabriquer et peuvent fonctionner avec des contrôleurs plus simples. Néanmoins, elles présentent un grand nombre de désavantages par rapport aux systèmes à cinématique parallèle plus performants. Dans un système à cinématique  séquentielle multi axial, chaque actuateur est affecté exactement à un degré de liberté. S'il existe des capteurs de position intégrés, chacun d'eux est aussi affecté à une commande et ne mesure que le déplacement réalisé par cette commande et dans la direction du déplacement. Tout déplacement indésiré (erreur de guidage) dans les autres cinq degrés de liberté ne sont pas vus et donc ne sont pas corrigés dans la servo boucle, entraînant ainsi une erreur cumulative.  

Dans un système à cinématique parallèle multi-axial, tous les actuateurs agissent  directement sur la même plate-forme mobile. 
C'est la seule  façon d'obtenir la même fréquence de résonance et le même comportement dynamique pour les axes X et Y. Il est aussi facile d'inclure une métrologie parallèle dans les systèmes à cinématique  parallèle. Un capteur de métrologie parallèle visualise la totalité du déplacement dans sa direction de mesure, et pas seulement celui d'un actuateur. Ainsi les erreurs provenant de tous les actuateurs peuvent être compensées en temps réel (contrôle actif de trajectoire). Il en résulte considérablement moins d'erreurs par rapport à la trajectoire idéale, une meilleure répétabilité et une meilleure planéité, voir Fig. 51.

Exemples:
P-734, P-561, p. see link dans la section  “ Nanopositionneurs Piézos &   Systèmes de Balayage”