Les actuateurs et les systèmes piézos à boucle fermée de PI sont équipés  de  systèmes de mesure de la position  fournissant une résolution subnanométrique, une linéarité meilleure que 0,01 %, et une bande  passante  jusqu'à  10 kHz. Un contrôleur  asservi    (numérique ou analogique) détermine la tension appliquée sur la céramique  PZT en comparant un signal de référence  (position commandée) au signal de position du capteur réel  (voir Fig. 28).

Pour une précision maximum, il est recommandé que le capteur  mesure directement le déplacement de la pièce  dont la position est importante (métrologie directe). PI offre une grande  variété d'actuateurs piézos avec des capteurs de métrologie directe  intégrés. Les capteurs capacitifs fournissent la meilleure précision (voir section 5, “Capteurs de Position Capacitifs ”). Des systèmes plus simples et moins précis mesurent des valeurs telles que la  déformation dans les éléments d'entraînement.

Résolution en Boucle Ouverte et en Boucle Fermée
Les systèmes piézos asservis en position offrent une linéarité et une  répétabilité plusieurs fois supérieures aux systèmes à boucle ouverte. La  résolution (déplacement  incrémentiel minimum) des actuateurs  piézos est  réellement meilleure pour des systèmes à boucle ouverte que  pour des  systèmes à boucle fermée. Ceci est dû au fait que  la résolution du piézo n'est pas limitée par la friction mais plutôt par le bruit électronique. En boucle ouverte, il n'y a pas de capteur ni d'électronique d'asservissement pour ajouter un bruit supplémentaire sur le signal de  contrôle. Dans un système piézo asservi, les électroniques du capteur et de contrôle sont donc particulièrement importantes. Avec des systèmes appropriés de haute qualité, une résolution subnanométrique  est aussi  possible en mode à boucle fermée, comme décrit Fig. 30 et 31. Les capteurs capacitifs  permettent d'atteindre la résolution, la linéarité et la stabilité les plus élevées.
 
Données de Calibrage Piézo 
Chaque contrôleur de position piézo asservi de  PI est calibré  avec le système spécifique de positionnement piézo à boucle fermée pour obtenir la gamme de déplacement, la réponse en fréquence et le temps de stabilisation optimaux.  Le calibrage est effectué en usine  et un rapport donnant les valeurs de la précision en positionnement tabulées et tracées est  fourni  avec le système  (voir p. see link). Afin d'optimiser le calibrage, il est nécessaire de connaître en détail  l'application spécifique. Pour plus d'informations  voir   p. see link  dans la section  “ Piézo Drivers & Nanopositioning Controllers"

Les contrôleurs numériques peuvent lire automatiquement les valeurs de calibrage  importantes inscrites sur une puce personnalisée intégrée dans le mécanisme  piézo. Cette fonction facilite l'utilisation d'un contrôleur  avec différents  actuateurs/platines et vice versa.

 

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