|
Déplacement des Actuateurs Piézos
Les actuateurs à empilement communément
utilisés atteignent un déplacement relatif
jusqu'à 0,2 %. Le déplacement des actuateurs piézocéramiques est essentiellement une fonction de l'intensité E du champ
électrique appliqué, de la longueur L de l'actuateur, des forces appliquées
sur lui et des propriétés du matériau piézoélectrique utilisé. Les
propriétés du matériau peuvent être décrites par les coefficients de
déformation piézoélectrique dij.
Ces coefficients décrivent la relation entre le champ
électrique appliqué et la déformation mécanique produite.
La variation en longueur, DL,
d'un actuateur piézo monocouche non chargé peut être estimé par l'équation
suivante:
(Equation 1)

où:
S = déformation (variation relative de la longueur DL/L,
sans dimension)
L0 = longueur de la céramique [m]
E = intensité du champ électrique [V/m]
dij = coefficient piézoélectrique du matériau [m/V]
d33 décrit la déformation parallèle au vecteur de polarisation
de la céramique (épaisseur) et est utilisé pour le calcul du déplacement des actuateurs à empilement; d31
est la déformation orthogonale au vecteur de polarisation (largeur)
et est utilisé pour calculer les actuateurs à tube et à bande (voir Fig. 9). d33
et d31 sont parfois appelés "gain du piézo"
.
Notes
Pour les matériaux
utilisés dans les actuateurs piézos standards
de PI, d33 est de l'ordre de
250 à 550 pm/V, et d31 de l'ordre de -180 à -210 pm/V.
Les valeurs les plus élevées sont atteintes avec les actuateurs à cisaillement en mode d15 . Ces valeurs ne sont valables
que pour du matériau brut à la température
du laboratoire et dans des conditions de faibles signaux.
L'intensité du champ maximum admissible pour les actuateurs piézos est entre 1 et
2 kV/mm dans la direction de polarisation. Dans la direction
inverse
(fonctionnement semi-bipolaire), 300 V/mm au maximum est autorisé (voir Fig. 10).
La tension maximum dépend de la céramique et des
matériaux d'isolation.
Un dépassement de la tension maximum risque de produire un
claquage diélectrique et des dommages
irréversibles à l'actuateur piézo.
Avec le champ inverse, survient une expansion négative (contraction), donnant
20 % en plus de déplacement nominal. Si
les deux champs direct et inverse sont appliqués, une expansion
relative (déformation) jusqu'à 0,2 % peut être obtenue avec les actuateurs
piézos à empilement. Cette technique peut réduire la
tension moyenne appliquée sans perte de déplacement et augmenter ainsi la durée de vie du piézo.
Des empilements peuvent être construits avec un rapport (longueur/diamètre) jusqu'à
12:1. Ceci signifie que le déplacement maximum d'un actuateur
piézo
de diamètre 15 mm est de 200 µm environ. Des
déplacements plus longs peuvent être atteints par des techniques
d'amplification mécanique (voir Amplificateurs de Déplacement à
Levier (p.voir lien).
Note:
Les actuateurs et les platines piézos de
PI sont conçus pour une grande fiabilité dans les applications industrielles. Les gammes de déplacement, de tension et de charge dans les
tables de données techniques peuvent être réellement utilisées en pratique.
Elles ont été collectées pendant de nombreuses années d'expérience
en production d'actuateurs piézos et dans de nombreuses
applications industrielles.
Contrairement aux autres fournisseurs de piézos, PI
possède ses propres installations de développement et de production de céramiques piézos ainsi que
l'équipement nécessaire et le savoir faire. Le but recherché est toujours
fiabilité et utilité pratique. Maximiser des paramètres isolés, tels que l'expansion ou la raideur au détriment de la durée de vie du piézo,
peut être intéressant pour un expérimentateur, mais n'a
pas sa place dans une application pratique.
En sélectionnant un actuateur ou une platine
piézo approprié, il est important de considérer que le "déplacement
maximum" peut ne pas être l'unique paramètre critique de
conception.
Hystérésis (Fonctionnement du Piézo en Boucle Ouverte)
L'hystérésis s'observe en fonctionnement en
boucle ouverte; elle peut être réduite par un contrôle de charge et pratiquement éliminée par un fonctionnement en boucle fermée (voir pp. voir lien.).
Les actuateurs piézos en boucle ouverte présentent une hystérésis
dans leur comportement grand signal diélectrique et
électromagnétique. L'hystérésis est basée sur les effets de
polarisation cristalline et les effets moléculaires à
l'intérieur du matériau piézoélectrique.
La quantité d'hystérésis augmente avec l'augmentation de la tension (intensité
du champ) appliquée à l'actuateur. L' "écart" dans la courbe tension/déplacement (voir Fig. 11) commence typiquement
autour de 2 % (signaux faibles) et s'élargit à un maximum de 10 %
à 15 % dans des conditions de signaux importants. Les valeurs les plus élevées
sont atteintes avec des actuateurs à cisaillement en mode d15 .
Par exemple, si la tension de commande d'un actuateur piézo de 50 µm
est modifiée de 10 %, (équivalent à un déplacement de 5 µm
environ) la répétabilité en position est encore de l'ordre de 1 %
du déplacement total ou mieux qu' 1 µm.
Plus le déplacement est petit et plus l'incertitude est faible. L'hystérésis ne doit pas être confondue
avec le jeu en mécanique conventionnelle. Le jeu est
pratiquement
indépendant du déplacement, donc son importance
relative augmente pour les mouvements les plus faibles.
Pour les applications où la position absolue n'est pas primordiale,
l'hystérésis est d'une importance secondaire et les
actuateurs en boucle ouverte peuvent être utilisés, même si une haute
résolution est requise.
Dans les systèmes à actuateur piézo en boucle fermée, l'hystérésis est
entièrement compensée.
PI présente ces systèmes pour les applications nécessitant un contrôle de
la position absolue, ainsi qu'un mouvement avec une
linéarité élevée, une répétabilité et une précision subnanométrique (voir pp.
voir lien).
Exemple:
Les systèmes d'alignement et de guidage de fibres pilotés
piézoélectriquement utilisent le signal de contrôle provenant d'un mesureur
de puissance optique situé dans le système. Là, le
but est de maximiser le niveau du signal optique aussi rapidement que
possible, et non d'atteindre une valeur de position prédéterminée. Un
système piézo en boucle ouverte est suffisant pour de telles applications.
Des advantages comme une résolution illimitée,
une réponse rapide, un jeu nul et pas d'effet de broutage sont plus que bienvenus, même sans contrôle de la position.
Fluage / Dérive (Fonctionnement
Piézo en Boucle Ouverte)
Les
mêmes propriétés du matériau responsables de l'hystérésis produisent
aussi un fluage ou une dérive. Le fluage est une variation du déplacement
avec le temps sans aucune variation de la tension de commande.
Si la tension de fonctionnement d'un actuateur piézo est changée, la polarisation restante (gain du piézo)
continue de changer, se manifestant par une variation lente de la position.
La vitesse du fluage décroît logarithmiquement avec le temps (voir Fig. 12).
L'équation suivante décrit cet effet:
(Equation 2)

Fluage d'un mouvement PZT en fonction du temps.
où:
t = temps [s ]
DL(t) = changement de position en fonction du temps
DLt= 0.1 = déplacement 0,1 seconde après
l'application de la
variation de tension [m].
g = facteur de fluage, qui dépend des propriétés de l'actuateur
(de l'ordre de 0,01 à 0,02, soit 1 % à 2 % par décade de temps).
En pratique, le fluage maximum (après quelques heures) peut ajouter
jusqu'à quelques pour-cent au mouvement commandé.
Vieillissement
Le vieillissement
conduit à une diminution de la polarisation
restante; cela peut poser un problème pour les applications de capteurs
(effet piézo direct). Pour les actuateurs le phénomène est négligeable, car la
repolarisation se produit à chaque fois qu'on applique un champ électrique plus
élevé au matériau de l'actuateur dans la direction de polarisation.
Note
Pour les déplacements périodiques, le fluage et l'hystérésis
ont uniquement un effet minimal sur la répétabilité.
|