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Micro- &
NanoPositionnement de PI:
Systèmes de NanoPositionnement |
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NanoPositionneurs Piézos
à Flexion |
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Les NanoPositionneurs à flexion de PI
sont supérieurs aux positionneurs traditionnels (avec roulements à billes,
roulements à rouleaux croisés, etc.) aussi bien en termes de précision, de
résolution, de rectitude et de planéité. En raison de la friction inhérente,
les positionneurs traditionnels sont limités aux applications nécessitant une
répétitivité de l'ordre de 0,5 à 0,1 µm, tandis que les NanoPositionneurs à
Flexion de PI peuvent facilement atteindre une résolution et une
répétitivité dans le domaine du nanomètre et en dessous.Les Nanopositionneurs
de PI sont utilisés dans de très nombreuses applications industrielles, en
semiconducteurs, microsopie, lithographie et biotechnologie. |
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Caractéristique principales:
- Résolution et répétitivié du
nanomètre en contrôle à boucle fermée
- Possibilité de 1 à 6 axes
- Compatibilité au vide
- Contrôle de trajectoire
- Déplacements jusqu'à 800 microns
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Et en
permanence de nouveaux produits:
Série PIHERA: des platines faible coût
Série MARS: des systèmes rapides et de haute précision
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Pour la Section Nanopositionnement du Catalogue PI 2005 en
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(2,77 Mb)
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Miroirs de Positionnement
/ Optique Active |
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PI offre une gamme étendue de Plateformes PZT de Tip/Tilt (Inclinaison/Basculement)
ultrarapides, spécialement conçues pour les applications d'optique active et
adaptative. Pouvant fournir une inclinaison jusqu'à +/- 1,5 degrés, avec une
réponse rapide (inférieure à la milliseconde) et une résolution meilleure que
le microradian, ces systèmes sont parfaitement adaptés pour les opérations
dynamiques ( par ex: poursuite, balayage, annulation de dérives et de
vibrations, tramage, etc..) aussi bien que pour le positionnement statique
d'optiques et d'échantillons.
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Electroniques pour Piézos |
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PI offre la plus grande sélection mondiale d'amplificateurs de puissance et de
contrôleurs de déplacement numériques et analogiques pour les actuateurs
piézos. Les électroniques jouent un rôle clef pour l'obtention des
meilleures performances des systèmes piézoélectriques NanoAutomation (tels que
les translateurs PZT) et des systèmes de NanoPositionnement pilotés par PZT (tels
que les NanoPositionneurs à Flexion ou les plateformes de tip/tilt PZT).
Les amplificateurs et les servo-contrôleurs à très faible bruit et grande
stabilité sont essentiels car même des variations de l'ordre du microvolt de
la tension de contrôle sont transformées en déplacement. Pour les applications
où la vitesse de transfert est cruciale, les techniques numériques à réaction
positive et les interfaces grande vitesse de PI, accélèrent les
processus de fabrication. Pour les applications dynamiques forte
puissance, les amplificateurs de puissance à récupération énergétique
fournissent des puissances crête jusqu'à 2000 W.
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Caractéristiques principales:
- Contrôleurs numériques grande vitesse pour des systèmes mono
ou multiaxes
- Contrôleurs analogiques modulaires, autonomes et OEM
- Technologie à compensation pour des applications à réponses
transitoires rapides
- Drivers LabView™
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